The seed granules are fed into a chamber that has heated silane gas entering from below and exiting above.
The flow of gas “fluidizes” the silicon granules, causing them to flow like a liquid, as the silane gas breaks down and deposits silicon layers on them.
The granules grow larger and heavier and exit when they are sufficiently large.
www.recgroup.comDas Impfkristall-Granulat wird in eine Kammer gegeben, in die von unten erhitztes Silangas eingeleitet wird, das an der Oberseite wieder austritt.
Die dabei entstehende Strömung des Gases „wirbelt“ das Silizium-Granulat auf, wodurch es wie eine Flüssigkeit strömt, während das Silangas zerfällt und Silizium-Schichten auf dem Granulat ablagert.
Die Körner werden immer größer und schwerer und verlassen die Kammer, sobald sie groß genug sind.
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